belichting
-
High-NA EUV: Intel heeft een back-upplan
Tussen de productie in Intel 18A en Intel 18A-P moet, als de plannen allemaal lukken, de productie in Intel 14A beginnen en hier zal voor het eerst verlichting met High-NA EUV met een diafragma (NA) van 0,55 worden gebruikt voor een paar lagen in de chipproductie. In principe is alleen de Intel 14A familie ontworpen om High-NA EUV te gebruiken in de belichting. Voor Intel 18A zal een diiafragma (NA) van 0,33 gebruikt blijven worden en dus,... [meer]