Advertentie
Het Nederlandse chipmachinebedrijf ASML heeft zich fel verweerd tegen beschuldigingen vanuit de Verenigde Staten dat het China zou hebben geholpen bij het verkrijgen van EUV-technologie. Volgens de Amerikaanse overheid zouden Chinese partijen mogelijk toegang hebben gekregen tot kennis of onderdelen die gebruikt kunnen worden voor de ontwikkeling van geavanceerde chipproductieapparatuur. ASML stelt echter dat het nooit EUV-machines of speciaal daarvoor ontwikkelde onderdelen aan China heeft geleverd.
De beschuldigingen raken een uiterst gevoelig dossier. Sinds enkele jaren gelden strenge exportbeperkingen voor geavanceerde chiptechnologie richting China. Vooral EUV-lithografie wordt gezien als cruciaal voor de productie van de modernste chips. Door de export van deze technologie te beperken, proberen de Verenigde Staten te voorkomen dat Chinese bedrijven op grote schaal chips kunnen produceren op geavanceerde productienodes onder de 5 nanometer.
ASML benadrukt dat het zich altijd aan de geldende exportregels heeft gehouden. Het bedrijf wijst erop dat wereldwijd in totaal 340 EUV-systemen zijn geleverd, waarvan geen enkel exemplaar naar China is verscheept. Volgens ASML zijn momenteel 314 systemen operationeel; de overige machines zijn inmiddels buiten gebruik gesteld. Er bestaan al langer speculaties dat China onderdelen van afgeschreven systemen zou hebben gebruikt voor onderzoek naar eigen EUV-technologie, maar hard bewijs daarvoor is nooit openbaar gemaakt.
De discussie speelt tegen de achtergrond van Chinese pogingen om een eigen EUV-industrie op te bouwen. Berichten uit China suggereren dat er inmiddels een prototype van een EUV-belichtingssysteem bestaat, al zouden daarmee nog geen chips zijn geproduceerd. Het doel zou zijn om rond 2028 de eerste chips met behulp van eigen EUV-technologie te fabriceren. Tot die tijd blijft China grotendeels afhankelijk van alternatieve productietechnieken, die aanzienlijk complexer zijn en doorgaans lagere opbrengsten opleveren.
ASML wijst er daarnaast op dat zijn EUV-machines continu worden gemonitord. Storingen, ongebruikelijke bedrijfsomstandigheden of het verlies van verbinding worden direct geregistreerd. Hierdoor is het volgens het bedrijf praktisch onmogelijk om een systeem ongemerkt te verplaatsen of op een andere locatie in gebruik te nemen. In het verleden verschenen bovendien berichten over een mogelijke 'kill switch', waarmee het gebruik van de machines op afstand zou kunnen worden geblokkeerd.