Advertentie
Sinds het exportverbod vanuit de Verenigde Staten voor Extreme Ultra Violet (EUV) lithografiemachines naar China, hebben Chinese chipfabrikanten de nodige moeite om zich verder te ontwikkelen. SMIC heeft in samenwerking met Huawei mooie stappen gemaakt wanneer het gaat om Deep Ultra Violet (DUV) lithografie, maar volgens ASML-topman Christophe Fouquet zal het nog zeker 10 tot 15 jaar duren eer de bedrijven ook EUV-machines zelf kunnen produceren.
De ASML-CEO verwacht dat deze voorsprong ruim 10 jaar is, omdat ASML nooit een EUV-machine naar China heeft geëxporteerd. Hierdoor heeft het land geen directe toegang tot de technologie uit Veldhoven, waardoor ze in essentie het wiel nogmaals moeten uitvinden. Dat kostte ASML en zijn partners ongeveer 20 jaar, maar veel van de toentertijd benodigde doorbraken zijn nu algemeen verkrijgbare kennis. Daarnaast heeft de omliggende technologie ook niet stilgelegen en is het aannemelijk dat Chinese bedrijven over 10 jaar ook een eigen EUV-machine weten te bouwen.
Toch zal de voorsprong van ASML dan niet direct verdwenen zijn. De Chinese industrie zal dan toegang hebben tot zogeheten Low-NA EUV-machines, die nu gangbaar zijn bij Intel, Samsung, en TSMC. Die bedrijven zouden echter hoogstwaarschijnlijk al High-NA EUV-machines, of zelfs Hyper-NA EUV-machines, tot hun beschikking hebben. Volgens de ASML-topman ligt het probleem dus niet zozeer in het feit dat China dichterbij komt qua technologie, maar dat het de lucratieve DUV-machines nu al gaat nabouwen.
De DUV-technologie heeft de laatste jaren ook niet stilgezeten, waardoor er ook chips van 7nm en zelfs 5nm mee geproduceerd kunnen worden. ASML’s Twinscan NXT:2000i is bijvoorbeeld volop aanwezig in de fabriekshallen van onder andere SMIC. De Amerikaanse overheid wil dat ASML stopt met het onderhouden en repareren van dergelijke machines, om de Chinese chipindustrie nog verder te hinderen in het ontwikkelen van competitieve chips. Volgens ASML en de Nederlandse regering is dit echter niet zo’n goed idee en geven ze vooralsnog geen gehoor aan de druk vanuit Washington.
ASML stelt namelijk dat, zolang het bedrijf controle heeft over zijn machines in China, de DUV-kennis die lekt naar Chinese bedrijven geminimaliseerd wordt. Als de bedrijven geforceerd worden zelf de machines te gaan onderhouden, zullen zij immers alles op alles zetten om de technologie exact te begrijpen en na te kunnen bootsen. Door de aanwezigheid van deze machines zou het land op het gebied van DUV-lithografie mogelijk maar enkele jaren achterlopen op ASML. China is een van de grootste klanten van ASML, waarmee het bedrijf direct een grote inkomstenbron verliest mochten ze niet langer machines verkopen aan het land. Daarnaast zouden Chinese bedrijven ook een geduchte concurrent kunnen worden op de wereldmarkt als ze DUV-systemen of onderdelen voor dergelijke systemen (van ASML) gaan verkopen.